CryoSAS

Sistem za analizo kriogenega silicija

CryoSAS je bil razvit kot »all in one« sistem za analizo nečistoč pri nizkih temperaturah in nadzor kakovosti silicijevih kristalov.

CryoSAS je optimiziran za delovanje v industrijskem okolju, saj združuje visoko zmogljiv Bruker FTIR interferometer z vgrajenim sistemom krio-hlajenja v zaprtem ciklu, ki ne potrebuje tekočega dušika ali tekočega helija.

Delovanje CryoSAS je popolnoma avtomatizirano in vključuje poročanje o rezultatih analiz po standardih SEMI in ASTM.